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포토리소그래피(Photolithography) 공정 및 기술 포토리소그래피(Photolithography)는 반도체 산업에서 전자 장치를 제조하는 데 필수적인 프로세스입니다. 이 프로세스는 빛을 사용하여 패턴을 마스크에서 포토레지스트라고 하는 감광성 물질로 코팅된 기판으로 전송합니다. 그런 다음 기판에 패턴을 에칭 하여 소규모로 복잡한 구조를 제작할 수 있습니다. 이 에세이에서 우리는 포토리소그래피 프로세스, 시간 경과에 따른 프로세스의 진화 및 이 분야의 최신 발전을 탐구할 것입니다. 포토리소그래피 공정이란? 포토리소그래피 공정은 기판 준비로 시작됩니다. 장치의 성능에 영향을 줄 수 있는 불순물을 제거하기 위해 기판을 철저히 세척합니다. 다음 단계는 포토레지스트 물질의 얇은 층으로 기판을 코팅하는 것입니다. 포토레지스트는 일반적으로 기판에 스핀 코팅되어 균일한 .. 2023. 4. 13.
웨이퍼 준비(Wafer Preparation) 과정 및 기술 웨이퍼 준비(Wafer Preparation) 슬라이싱 공정은 집적 회로(IC) 및 태양 전지와 같은 반도체 장치 제조에서 중요한 단계입니다. 여기에는 실리콘 또는 기타 반도체 재료의 단결정에서 얇은 웨이퍼를 절단하는 작업이 포함됩니다. 그런 다음 웨이퍼는 전자 부품 제조를 위한 기본 재료로 사용됩니다. 웨이퍼 슬라이싱 프로세스는 최종 웨이퍼가 정확한 두께를 갖고 결함이 없는 매끄러운 표면을 갖도록 보장하기 위해 고정밀로 수행되어야 합니다. 이 에세이에서 우리는 웨이퍼 슬라이싱 프로세스의 역사, 방법 및 과제에 대해 이야기해보도록 하겠습니다. 웨이퍼(Wafer) 준비_슬라이싱 방법 ● 다이아몬드 톱질: 이것은 가장 오래되고 널리 사용되는 웨이퍼 슬라이싱 방법입니다. 그것은 반도체 재료를 절단하는 다이아몬.. 2023. 4. 12.
결정 성장 공정(Crystal Growth) 과정 및 기술 결정 성장 공정은 반도체 장치 제조에서 중요한 단계입니다. 고품질 단결정의 성장은 반도체 장치의 성능과 신뢰성을 보장하는 데 필수적입니다. 결정 성장 과정은 결정 격자 구조를 형성하기 위해 제어된 환경에서 원자 또는 분자의 증착을 포함합니다. 본 글에서는 결정 성장 과정, 그 중요성, 결정 성장에 사용되는 다양한 기술에 대해 자세히 설명해 드리도록 하겠습니다. 결정 성장 과정 결정 성장 공정은 제어된 환경에서 기판에 원자 또는 분자를 증착하는 것을 포함합니다. 증착 공정은 기상 증착, 액상 에피택시 및 분자 빔 에피택시와 같은 여러 메커니즘을 통해 발생할 수 있습니다. 증착 공정은 일반적으로 불순물로 인한 오염을 방지하기 위해 진공 또는 저압 환경에서 수행됩니다. 결정 성장 과정에는 핵 생성, 성장 및 .. 2023. 4. 10.
반도체 제조에 대한 포괄적인 가이드: 크리스탈에서 메모리 칩까지 반도체 제조는 트랜지스터, 다이오드 및 집적 회로(IC)와 같은 전자 장치를 만드는 공정입니다. 메모리 제조를 위한 반도체 제조에는 8가지 주요 프로세스가 있습니다. 이번 글에서는 8대공정에 대해 설명 하고 다음 글에서는 각 공정별 설명과 현장에서 하는 일까지도 가능하면 설명하고 같이 알아가 보도록 하겠습니다. 1. 결정 성장(Crystal Growth): 반도체 제조의 첫 번째 단계는 고순도 실리콘 결정을 생성하는 것입니다. 이것은 녹을 때까지 진공 챔버에서 소량의 실리콘을 가열한 다음 천천히 냉각하여 단결정을 형성함으로써 이루어집니다. 이 과정을 초크랄스키 과정이라고 합니다. 2. 웨이퍼 준비(Wafer Preparation): 결정이 성장하면 웨이퍼라고 하는 얇은 디스크로 슬라이스됩니다. 그런 다음.. 2023. 4. 9.
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